,

Selective Epitaxial Growth of SiGe Layers with High Aspect Ratio Mask of Dielectric Films.

, , , , , , , , , и .
IEICE Trans. Electron., 91-C (5): 767-771 (2008)

Метаданные

тэги

Пользователи данного ресурса

  • @dblp

Комментарии и рецензии