%0 Thesis %1 bauch1988silberhalogenidaufdampfschichten %A Bauch, Lothar %D 1988 %K %T Silberhalogenidaufdampfschichten und ihre Anwendungsmöglichkeiten in der Mikrolithografie

@phdthesis{bauch1988silberhalogenidaufdampfschichten, added-at = {2023-12-12T17:31:44.000+0100}, author = {Bauch, Lothar}, biburl = {https://www.bibsonomy.org/bibtex/2124d1745f5709e80a4290299f4b09d35/admin}, dnbtitleid = {890443815}, interhash = {0501c2e0ab3fd432193600d64cd55ad6}, intrahash = {124d1745f5709e80a4290299f4b09d35}, keywords = {}, school = {TU Dresden}, timestamp = {2023-12-12T17:31:44.000+0100}, title = {Silberhalogenidaufdampfschichten und ihre Anwendungsmöglichkeiten in der Mikrolithografie}, type = {habilitation}, year = 1988 }