%0 Thesis %1 kurniawan2011mikromechanik %A Kurniawan, Willyanto %D 2011 %K dnb Industrielle_und_handwerkliche_Fertigung %T Mikromechanik und Aufbautechnik zur Realisierung eines MEMS Aktuators für Festplattenspeicher-Schreib-Leseköpfe

@phdthesis{kurniawan2011mikromechanik, added-at = {2015-09-08T01:49:31.000+0200}, author = {Kurniawan, Willyanto}, biburl = {https://www.bibsonomy.org/bibtex/261e41e9849503b8875235c971d3e3074/genealogie}, dnbtitleid = {102076029X}, interhash = {93b960f45648823783dd5cb0fdef1d20}, intrahash = {61e41e9849503b8875235c971d3e3074}, keywords = {dnb Industrielle_und_handwerkliche_Fertigung}, school = {TU Berlin}, timestamp = {2015-09-08T01:49:31.000+0200}, title = {Mikromechanik und Aufbautechnik zur Realisierung eines MEMS Aktuators für Festplattenspeicher-Schreib-Leseköpfe}, year = 2011 }