%0 Thesis %1 munchmeyer1984untersuchungen %A Münchmeyer, Dietrich %D 1984 %K dnb Mathematik Physik Astronomie %T Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndrüsenelemente

@phdthesis{munchmeyer1984untersuchungen, added-at = {2016-05-30T21:26:30.000+0200}, author = {Münchmeyer, Dietrich}, biburl = {https://www.bibsonomy.org/bibtex/29c974ebff6f1e613d52fae1d76e1d4dc/genealogie}, dnbtitleid = {213335980}, interhash = {1db5d196ad86bebb2bfdae3b2782211c}, intrahash = {9c974ebff6f1e613d52fae1d76e1d4dc}, keywords = {dnb Mathematik Physik Astronomie}, school = {Uni Karlsruhe}, timestamp = {2016-05-30T21:26:30.000+0200}, title = {Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndrüsenelemente}, year = 1984 }