Please log in to take part in the discussion (add own reviews or comments).
Cite this publication
More citation styles
- please select -
%0 Thesis
%1 ehrfeld1984untersuchungen
%A Ehrfeld, Wolfgang
%A Münchmeyer, Dietrich
%A Becker, Erwin
%D 1984
%K
%T Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente
@phdthesis{ehrfeld1984untersuchungen,
added-at = {2023-12-13T00:37:20.000+0100},
author = {Ehrfeld, Wolfgang and Münchmeyer, Dietrich and Becker, Erwin},
biburl = {https://www.bibsonomy.org/bibtex/2890f1ef1b844e9e06f411b8efeb64f15/admin},
dnbtitleid = {850534852},
interhash = {65ff1d060da3e8e99f0acd1179b14dd8},
intrahash = {890f1ef1b844e9e06f411b8efeb64f15},
keywords = {},
school = {Uni Karlsruhe},
timestamp = {2023-12-13T00:37:20.000+0100},
title = {Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente},
year = 1984
}