%0 Thesis %1 doring2001abscheidung %A Döring, Jens-Erich %D 2001 %K %T Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid (cBN) auf Silicium und Werkzeugstahl mit der ionengestützten Abscheidung aus der Gasphase (IBAD)

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