Autor der Publikation

Simulation modeling and visualization of start-up transient processes of dual-arm cluster tools with wafer revisiting.

, , , und . SMC, Seite 133-138. IEEE, (2014)

Bitte wählen Sie eine Person um die Publikation zuzuordnen

Um zwischen Personen mit demselben Namen zu unterscheiden, wird der akademische Grad und der Titel einer wichtigen Publikation angezeigt. Zudem lassen sich über den Button neben dem Namen einige der Person bereits zugeordnete Publikationen anzeigen.

 

Weitere Publikationen von Autoren mit dem selben Namen