Autor der Publikation

Phase Partition Based Virtual Metrology for Material Removal Rate Prediction in Chemical Mechanical Planarization Process.

, , , und . CICAI, Volume 13069 von Lecture Notes in Computer Science, Seite 180-190. Springer, (2021)

Bitte wählen Sie eine Person um die Publikation zuzuordnen

Um zwischen Personen mit demselben Namen zu unterscheiden, wird der akademische Grad und der Titel einer wichtigen Publikation angezeigt. Zudem lassen sich über den Button neben dem Namen einige der Person bereits zugeordnete Publikationen anzeigen.

 

Weitere Publikationen von Autoren mit dem selben Namen