Autor der Publikation

Tracking plasma etch process variations using principal component analysis of oes data.

, , und . ICINCO-SPSMC, Seite 361-364. INSTICC Press, (2007)

Bitte wählen Sie eine Person um die Publikation zuzuordnen

Um zwischen Personen mit demselben Namen zu unterscheiden, wird der akademische Grad und der Titel einer wichtigen Publikation angezeigt. Zudem lassen sich über den Button neben dem Namen einige der Person bereits zugeordnete Publikationen anzeigen.

 

Weitere Publikationen von Autoren mit dem selben Namen