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Epitaxial growth and diffusion characteristics analysis of vertical thin poly-Si channel transfer gate structured pixels for 3D CMOS image sensor.

S. Park, D. Woo, M. Na, P. Kwag, H. Lee, K. Ro, K. Kim, D. Lee, C. Hong, I. Cho, und K. Yoo. ESSDERC, Seite 220-223. IEEE, (2017)

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