Autor der Publikation

Design of a graphene capacitive pressure sensor for ultra-low pressure detection.

, , , , und . NEMS, Seite 192-195. IEEE, (2016)

Bitte wählen Sie eine Person um die Publikation zuzuordnen

Um zwischen Personen mit demselben Namen zu unterscheiden, wird der akademische Grad und der Titel einer wichtigen Publikation angezeigt. Zudem lassen sich über den Button neben dem Namen einige der Person bereits zugeordnete Publikationen anzeigen.

 

Weitere Publikationen von Autoren mit dem selben Namen

Silicon-silicon anodic bonding process with embedded glass., , , , , und . NEMS, Seite 470-475. IEEE, (2015)A Gas Medium Approach To Sensitivity Improvement Of MEMS-Based Thermal Acoustic Particle Velocity Sensors., , , , , und . ICICDT, Seite 1-4. IEEE, (2019)Anemometer for detection of very low speed air flow with three-dimensional directionality., , , , und . NEMS, Seite 615-618. IEEE, (2017)Linearity analysis of closed-loop capacitive accelerometer due to distance mismatch between plates and the influence of compensation capacitor array., , , , , , , , , und . Sci. China Inf. Sci., 57 (6): 1-12 (2014)Design and simulation of corrugated diaphragm applied to the MEMS fiber optic pressure sensor., , , , und . NEMS, Seite 152-155. IEEE, (2016)High temperature pressure sensor using a thermostable electrode., , , , , , und . NEMS, Seite 201-204. IEEE, (2015)Design and fabrication of a mems capacitive accelerometer based on double-device-layers SOI wafer., , , , , und . NEMS, Seite 1036-1039. IEEE, (2010)Design of a graphene capacitive pressure sensor for ultra-low pressure detection., , , , und . NEMS, Seite 192-195. IEEE, (2016)Design of an ultra-low pressure sensor based on the growth of graphene on silicon dioxide surface., , und . NEMS, Seite 526-529. IEEE, (2017)A method for real-time measurement of seismic isolation rubber bearing based on embedded MEMS pressure sensors., , , , , , , , und . ICICDT, Seite 1-3. IEEE, (2019)